多波长椭偏仪 Multi-wave Ellipsometer

• FS 多波长椭偏仪

  

  寿命长（长达50,000小时）
  

  快速测量（10ms内获得多波长数据）和长期性能稳定

  测量精确，只有椭偏仪可以实现

  软件设置和维护简单

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• FS新一代多波长椭偏仪

  

   Film Sense FS-1EX和FS-1UV椭偏仪测量薄膜的功能更强，波长更长，光谱范围也更广

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