多波长椭偏仪 Multi-wave Ellipsometer

Innovative˙Powerful˙Affordable

设计创新˙功能强大˙经济实惠

Film Sense FS-1™ 多波长椭偏仪采用寿命长LED光源和非移动式部件椭偏探测器，可在操作简单的紧凑型椭偏仪中实现快速和可靠地薄膜测量。

大多数厚度0–1000 nm的透明薄膜只需要简单的1秒测量，就可以获得非常精密和准确的数据。还可以测量大多数样品的光学常数和其他薄膜特性。

FS-1这款功能强大的多波长椭偏仪，售价只是单一波长椭偏仪和光谱椭偏仪的中等水平。FS-1可应用于研究实验室，超净间，原位工艺腔体以及工业质量控制等诸多领域

主要特点

l 4个LED光源：蓝色（465nm），绿色（525nm），黄色（580nm），红色（635nm）

l 椭偏仪探测器中无可移动部件

l 卓越的膜厚精密性，大多数样品精密度优于0.001nm（1秒获取数据），对于亚单原子薄膜精密度等于0.001nm

l 集成计算机，可实现对设备控制和数据分析，自带浏览器界面，可兼容任何现代计算机，笔记本或平板电脑

在线测量功能

自动Mapping系统

FS-1™多波长椭偏仪，带紧凑自动mapping样品台，可以实现快速，准确和可靠的薄膜均匀性测量。

软件控制

选配件

聚焦光束选件

样品上光束尺寸减小到 0.8 x 1.9 mm或0.3 x 0.7 mm

聚焦光束检测

聚焦光束检测系统包括一个FS-1多波长椭偏仪，带光束聚焦光学器件和一个手动位移台。该系统非常适合用于手动检测和在图案化半导体晶圆上进行质量控制测量。可进行科研测量，带小尺寸光斑和相机成像功能手动位移台，可容纳4’，5’，6’晶圆样品上光束尺寸0.3 x 0.7 mm样品上光束位置视频图像