- 产品说明
- 选配件
- 详情咨询
Film Sense新一代多波长椭偏仪系统现已问世。Film Sense FS-1EX和FS-1UV椭偏仪测量薄膜的功能更强，波长更长，光谱范围也更广。新一代椭偏仪系统既拥有* FS-1专利技术的相同特点(经久耐用的LED光源，快速可靠且无移动部件的探测器，紧凑的设计以及浏览器软件界面)，同时具备易用性和可购性。
产品特点及规格
FS-1EXTM 椭偏仪
l 6 条波长，光谱范围405–950 nm
l 微型光学器件：光源137 x 80 x 60 mm，探测器110 x 80 x 60mm
l 与FS-1相比强度增加4倍以上
l 2条较长波长(850和950 nm)可以测量更厚的透明薄膜(厚度可达5μm)以及吸收性薄膜（如多晶硅、SiGe、非晶硅等）
l 2条较长波长也提高了对薄膜电阻率的测量
l 6条波长和更宽的光谱范围强化了测量多层膜堆的能力
FS-1UVTM 椭偏仪
l 6条波长，光谱范围280–660 nm
l 微型光学器件：光源137 x 80 x 60 mm，探测器110 x 80 x 60mm
l 紫外波长(280 nm和305 nm)超过大多数半导体的间接带隙，可增强合成物的敏感度
l 紫外波长也可以加强透明基片和薄膜的折射率对比
FS-1TM(Gen. 2)椭偏仪
l 4条波长，不同于FS-1的4条波长
l 微型光学器件：光源和探测器110 x 80 x 60mm
l 略宽的光谱范围 (450–660 nm)
l 与FS-1相比强度增加4倍以上
l 精度提高2倍
l 更容易内部校准
l 测量0 - 2μm厚度范围内单层透明薄膜的最佳选择，精度可达0.001 nm
自动映射系统
FS-1EX多波长椭偏仪与小型自动映射系统组装，可快速、准确地测量晶圆薄膜厚度均匀性。
l 6条波长的椭圆偏振测量数据（405，450，525，660，850，950 nm），带经久耐用的LED光源以及无移动部件的探测器
l 大多数透明薄膜厚度地精确测量：0 - 5μm
l 典型薄膜厚度重复性：0.015 nm
l 集成聚焦探头，标准光斑尺寸：0.8 x 1.9 mm(其他光斑尺寸可供选择)
l 可使样品自动校准的电动z型台
l 灵活的扫描图形编辑器
l 测量参数的等高线和三维图
