AJA离子束刻蚀系统 Ion Milling System

• 离子束刻蚀系统

  

  物理刻蚀设备，多种尺寸选择。集成基片冷却和SIMS终点监测功能。兼容射频和直流离子源，最大22cm直径。滑轨时安装，方便集成更大直径离子源。

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