碳化硅晶体生长炉 SiC Crystal Growth

• 世界最高品质SiC晶体生长炉

  

  电感加热式物理气相传输SiC生长炉

  双壁水冷石英管

  2英寸，100mm或150mm晶圆工艺

  高温计控制和电源控制，保证生长炉稳定运行

  自动PLC控制，带工艺，触屏，安全互锁/警报等功能

  远程监测和控制

  占地空间最小的SiC生长炉

   

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