AJA多腔系统 Multi-chamers & Hybrid System

• 多腔系统

  

  集成多种工艺：磁控溅射 | MOS | 沉积（电子束和热蒸发）| 椭偏仪 |  离子刻蚀 | 二次离子质谱 | 离子束沉积 快速退火 | 脉冲激光沉积 | 氧化和氮化 | 分子束外延 | 反应离子束刻蚀 | RHEED XPS/AUGER/LEED

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