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柜式和圆柱腔体 | 高真空和超高真空结构 | 选配预真空室和cassette | 旋转或直线型蒸发源 | 集成升降或铰链门 | 单层,多层或共蒸发沉积 | 线性电子枪 | 滑轨行星,加热和冷却样品台 | 可按需定制