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AJA 的蒸发镀膜系统有三种不同的型号:ATC-E, ATC ORION-E (比 ATC 和 ATC-Orion 更高的型号)和 PVDX(一种穿墙箱式镀膜装置)。这些设备都能在有限的预算下实现性能和质量的最优化。这些设备沿用了许多 ATC & ATC ORION 溅射设备的设计特点和通用部件,且都适用于HV高真空和UHV超高真空,还能配置单槽或多槽,直线和旋转电子束蒸发源,热蒸发源,离子/等离子体蒸发源,克努森蒸发池(分子束外延系统),有机材料低温蒸发池,Radak 蒸发源,磁控溅射靶等。此外,这些系统还能配置预真空室,QCM石英晶体微天平监控和控制,加热或冷却的样品台,行星齿轮,不同的泵组和自动控制装置等。
标准蒸发速率/均匀性数据
标准电子束蒸发系统配置
ATC-ORION-8E UHV
结构紧凑,经济型超高真空镀膜机,带5槽直线型电子束蒸发源,安装在滑动机制上,便于装载和维修。系统另一个特点是涡轮分子泵预真空室。
ATC-2200-E
直径 22 英寸,高 36 英寸超高真空电子束蒸发器,带 5 槽直线型,超高真空电子束源,2 个Radak热蒸发器和涡轮分子泵预真空室。
6 槽旋转电子束蒸发源,带预真空室,水冷样品台和前置辐射基片加热。
ATC-2036-E HV
6 槽旋转电子束蒸发源,带可加热至 1000°C 基片加热器和线性控制可编程的基片挡板,用于楔形膜。