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AJA INTERNATIONAL INC. 教育系列磁控溅射系统（Educational Deposition Systems）是一款专为教学场景设计的真空镀膜设备，旨在帮助学生通过动手操作掌握真空技术与薄膜制备的核心原理。该系统采用手动操作模式设计，让学习者能够直观地管理真空环境、理解等离子体行为，并观察溅射工艺的完整流程。设备支持2英寸磁控溅射靶枪与100W射频电源配置，可处理导电与绝缘材料，兼容2英寸及以下样品，为高校及职业教育机构提供了一套兼具教学演示与基础科研功能的薄膜沉积平台。
溅射与电源配置
系统以2英寸射频磁控溅射靶枪为核心，兼容导电与绝缘材料，配合100W可手动调节功率的RF电源，便于学习者直观观察功率、气压等参数对等离子体状态和薄膜生长的影响。
真空系统与操作
设备采用手动操作真空泵组的设计，配合实时数字压力显示，便于绘制抽气曲线、理解各级泵在不同压力下的工作范围与抽速差异。腔体顶盖可完全打开，方便快速取放样品及观察内部构造。
教学扩展功能
选配残余气体分析仪（RGA）后，可用于检漏操作、残余气体成分分析与材料放气监测等演示实验，丰富教学内容。
设施适配与安全
系统无需外接冷却水源，采用风冷自循环换热器；标准110V供电，仅需连接一瓶工艺氩气即可运行。整机集成于带脚轮的移动机架上，可灵活部署，并内置多重安全联锁保护，保障教学操作安全。
设计定位
系统的设计目标并非追求高沉积速率或多材料共沉积能力，而是通过简洁、透明的操作流程，让使用者亲手完成从抽真空、等离子体起辉到薄膜沉积的完整物理过程，是连接薄膜科学理论与实践教学的理想平台。
主要特点
