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AJA多功能蒸发刻蚀设备--现货(图文)

发布者：眺望科技                     发布日期：2025-04-03

AJA多功能（电子束蒸发、热蒸发和离子束刻蚀）系统6-8周内可以发货。配置简明如下：

1.­304 S/S不锈钢超高真空反应腔体，高36" x  内径24" ；

2.集成有2个电子束蒸发源、2个热蒸发源和1个4cm栅极离子源；

3.样品台最大可容纳4英寸基片，可加热至800℃；

4.配预真空室；

5.极限真空优于5x10^-8 Torr；

6.沉积均匀性：椭偏仪测量 沉积SiO₂≤±1.5% @100mm基片（去除5mm边缘）。

详细配置与报价可随时联系：400 615 4535/023 8832 5169。