AJA磁控溅射系统 Magnetron Sputtering System

AJA的ATC-B系列批量镀膜系统是定制化溅射和蒸发系统，可以处理小批量多种基片。根据用户不同需求，可选择圆柱腔体或箱式腔体结构。由于生长中材料不会落到基片或磁控溅射靶源里面（会造成短路和工艺中断），水平磁控溅射可以有效增加工艺次数。