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AJA International的ATC Orion系列磁控溅射系统是ATC Flagship旗舰系列下的一款高性价比的紧凑型物理气相沉积设备。Orion系列的高真空和超高压真空溅射系统都沿用了许多ATC溅射系统的成熟设计和通用配件。标准的ATC Orion部件（腔体，框架，集群法兰等）一般都有现货，因此我们能够有效缩短设备交货时间。
Orion 8有一款特殊设计的系统，可以集成4个2"磁控溅射靶源，可原位偏转。ATC Orion系列溅射系统可以轻易相互连接，或是连接其他ATC系统，集成多腔（如，金属/氧化物）或多功能混合系统（如，溅射/蒸发/PLD/离子束刻蚀）。
主要特点
l 可集成5个3''或8个2"共溅射靶枪
l 向上或向下溅射
l 沉积均匀性+/-2.5% @ 4" (100mm)基片
l 样品台：加热，冷却（LN2/H2O），射频/直流偏压
l 选配射频，直流，脉冲直流和HIPMS等电源
l 可集成4路MFC气路(Ar, O2, N2, H2等)
l 选配load-lock预真空室
l 计算机控制或半自动控制
l 高真空或超高真空
产品规格
