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SENTECH ’ Reflectometer RM能够在UV-VIS-NIR光谱范围对单层膜、多层膜和基底材料进行高精度反射光谱测量。可对吸收或透明基底上的透明或弱吸收薄膜分析厚度和折射率
主要特点
l 高精度反射率测量，非接触，正入射光
l 宽光谱范围，可从 UV至NIR
l 测量反射率曲线R, 薄膜厚度，折射率
l FTPexpert 软件，用于测量薄膜的光学参数
l 测量半导体混合物的组分 (例如： AlGaN on GaN)
l 分析各向异性薄膜
技术指标
l 光谱范围扩展至DUV (200 nm)
l 光谱范围拓展至NIR (1700 nm)
l x-y 地貌图扫描样品台和软件
l 摄象头
l PC
