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多角度激光椭偏仪 SE400advanced使用632.8nm波长HeNe激光器，对测量薄膜厚度，折射率和吸收系数有非常出色的精度。 SE400advanced能够分析单层膜，多层膜和大块材料（基底）
l 超高精度和稳定性，来源于高稳定激光光源、温度稳定补偿器设置、起偏器跟踪和超低噪声探测器
l 高精度样品校准，使用光学自动对准镜和显微镜
l 快速简易测量，可选择不同的应用模型和入射角度
l 多角度测量，可完全支持复杂应用和精确厚度
l 全面的预设应用，包含微电子、光电、磁存储、生命科学等领域
技术规格
l 激光波长632.8 nm
l 150 mm (z-tilt) 载物台
l 入射角度可调，步进5º
l 自动对准镜/显微镜，用于样品校准
l Small footprint
l 以太网接口连接到PC
l 微细光斑选项，光斑直径30微米
l 手动x-y方向移动载物台，行程150 mm
l 地貌图 选项 (x-y方向, 最大行程200 mm, 带有真空吸附)
l 摄象头选项，用于取代目镜进行样品对准
l 液体膜测量单元
l 自动对焦选项，同地貌图选项结合
l 反射式膜厚仪FTPadvanced，光斑直径80微米
l 双波长激光 (405 nm 或1550 nm)
l SIMULATION软件
l 针对粗糙表面硅太阳能电池的测量装置
